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苏州赛森电子申请一种负载锁腔抽真空专利,降低晶圆上颗粒物浓度
金融界2025年1月16日消息,国家知识产权局信息显示,苏州赛森电子科技有限公司申请一项名为“一种负载锁腔抽真空方法”的专利,公开号CN119297134 A,申请日期为2024年10月。 专利摘要显示,本…
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气阀
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颗粒物
降低
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11天前
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