超声波清洗机：如硅片晶圆超声波清洗机，能有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质等，且不破坏晶片表面特性。单片清洗机：通过化学药液清洗，可以有效地去除衬底片外延片表面及背面的尘粒、剥离晶圆表面的…

金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，广东汇众环境科技股份有限公司取得一项名为“一种反渗透与EDI设备组合除钠离子装置”的专利，授权公告号CN 222348755 U，申请日期为2024年…